一种双层过渡金属硫族化合物连续薄膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种双层过渡金属硫族化合物连续薄膜及其制备方法，所述双层过渡金属硫族化合物连续薄膜由衬底和衬底表面形核双层的晶粒组成，双层晶粒在衬底的高台阶处均匀成形并连续覆盖，两层尺寸一致且边缘对齐，所述过渡金属硫族化合物为二硫化钼、二硫化钨、二硒化钼或二硒化钨；所述连续薄膜的制备方法为气相沉积法，在衬底表面形核双层的晶粒，该双层晶粒上下两层对齐、等速生长，拼接为均匀、连续的双层薄膜；所述连续薄膜可达到厘米级别，完全满足高性能电子器件集成的要求。
基本信息
专利标题 ：
一种双层过渡金属硫族化合物连续薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114540958A
申请号 ：
CN202210182597.0
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王欣然刘蕾李涛涛施毅
申请人 ：
南京大学
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
柏尚春
优先权 ：
CN202210182597.0
主分类号 ：
C30B29/46
IPC分类号 ：
C30B29/46 C30B25/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/46
含硫、硒或碲的化合物
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/46
申请日 : 20220225
申请日 : 20220225
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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