用于薄膜沉积的新V族和VI族过渡金属前体
实质审查的生效
摘要
本文描述了用作沉积含V族和VI族膜的前体的V族和VI族化合物。带有烷基、胺基、亚胺基、脒基和/或环戊二烯基(Cp)配体的配体用于形成用作前体的V族和VI族配合物。V族和VI族前体化合物的实例包括但不限于Cp胺基亚胺基烷基钒化合物、Cp胺基亚胺烷基胺基钒化合物、Cp胺基亚胺基烷氧基钒化合物、Cp胺基亚胺基脒基钒化合物和烷基亚胺基三氯化钒化合物。V族和VI族前体用于以优异膜性能(如均匀性、连续性和低电阻)在衬底表面上沉积。用于沉积含金属膜的衬底表面的示例包括但不限于金属、金属氧化物和金属氮化物。
基本信息
专利标题 ：
用于薄膜沉积的新V族和VI族过渡金属前体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114269762A
申请号 ：
CN202080052680.5
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李国璨S·V·伊瓦诺维雷新建李宏波
申请人 ：
弗萨姆材料美国有限责任公司
申请人地址 ：
美国亚利桑那州
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
吴亦华
优先权 ：
CN202080052680.5
主分类号 ：
C07F9/00
IPC分类号 ：
C07F9/00 C07F11/00 C07F17/00 C23C16/18 C23C16/24 C23C16/34 C23C16/40 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F9/00
含周期表第5或15族元素的化合物
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C07F 9/00
申请日 : 20200528
申请日 : 20200528
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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