有机金属络合物及其作为金属薄膜沉积前体的应用
专利权的终止
摘要
本发明涉及有机金属前体，和在衬底例如硅、金属氮化物和其它金属层上制造含金属的保形薄膜的沉积方法。有机金属前体为下式的N，N′－烷基－1，1－烷基甲硅烷基氨基金属络合物，其中M为选自VIIb、VII、IX和X族的金属，并且金属的特定实例包括钴、铁、镍、锰、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼、锇，并且R1－5可相同或不同并选自氢、烷基、烷氧基、氟代烷基和烷氧基、脂环族基和芳基。
基本信息
专利标题 ：
有机金属络合物及其作为金属薄膜沉积前体的应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1814605A
申请号 ：
CN200610008926.0
公开（公告）日 ：
2006-08-09
申请日 ：
2006-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
雷新建萧满超H·思里丹达姆K·S·库思尔
申请人 ：
气体产品与化学公司
申请人地址 ：
美国宾夕法尼亚州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张轶东
优先权 ：
CN200610008926.0
主分类号 ：
C07F15/06
IPC分类号 ：
C07F15/06 C07F15/02 C07F15/04 C07F13/00 C07F15/00 C07F3/06 C07F1/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F15/00
含周期表第8、9、10或18族元素的化合物
C07F15/06
钴化全物
法律状态
2018-02-27 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 16/06
申请日 : 20060128
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20170128
申请日 : 20060128
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20170128
2008-07-09 ：
授权
2006-10-04 ：
实质审查的生效
2006-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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