细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备方法及其制备设备，所述铸锭设备为多晶铸锭炉，包括上炉体、下炉体、隔热笼、石英陶瓷坩埚、顶加热器件、四周侧加热器件、石墨热交换台，在石英陶瓷坩埚外壁石墨软毡外周设置有碳/碳复合保温方框，在上炉体内壁上安装有非接触电磁搅拌装置。其铸锭制备方法步骤：（1）优化多晶铸锭炉热场均匀性；（2）增设非接触硅液电磁搅拌装置；（3）调整多晶铸锭工艺配方参数，延缓晶体生长速率。本发明采用碳/碳复合保温方框及填充石墨软毡作坩埚侧部隔热保温，较常规使用隔热材料，装拆炉更为方便快捷，且石墨软毡每次装拆都能保证厚度均匀一致，到达良好的隔热保温作用。