本发明涉及硅片技术领域，公开了一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，包括硅片传输机构和清洗机构，硅片传输机构包括水平传输组件和顶升组件，水平传输组件包括分选皮带，分选皮带可绕第一方向转动，顶升组件包括顶升皮带，顶升皮带可沿竖直方向顶升，顶升皮带还可绕第一方向转动；清洗机构包括第一擦拭臂和第二擦拭臂，第一擦拭臂的第一端固定连接第二擦拭臂的第一端，且第一擦拭臂的第一端和第二擦拭臂的第一端均转动连接顶升组件，第一擦拭臂的第二端和第二擦拭臂的第二端分别设有第一擦拭件和第二擦拭件。能够同时完成分选皮带和顶升皮带的清洗过程，不仅能够提升效率，还能节约能源，具有较好的经济性。