应用于镀膜设备的机械手
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种应用于镀膜设备的机械手，所述机械手包括：端部执行器和晶圆传送器；所述端部执行器包括执行器基板、加热部；所述执行器基板上设有加热部，所述加热部用于对晶圆进行加热；所述晶圆传送器用于将通过所述端部执行器预热后的晶圆传送至晶圆处理腔。本发明通过在晶圆的传送过程中对晶圆进行加热和保温，以缩短在镀膜之前对晶圆的处理时间，提高了晶圆表面的镀膜效率。
基本信息
专利标题 ：
应用于镀膜设备的机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496901A
申请号 ：
CN202210392259.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-04-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蒋征朱佳奇
申请人 ：
拓荆科技（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路1号院11号楼5至6层506
代理机构 ：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄海霞
优先权 ：
CN202210392259.X
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/677 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20220415
申请日 : 20220415
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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