含有微流道散热结构的三维堆叠封装结构及其封装方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及电子技术领域,尤其涉及一种含有微流道散热结构的三维堆叠封装结构及其封装方法,该结构包括芯片封装部分和硅基板封装部分,所述芯片封装部分由含有硅通孔的多层芯片通过三维堆叠封装构成,所述硅基板封装部分由硅基板构成,硅基板上设有与外部引线互连的微凸点,所述芯片封装部分通过微凸点键合装配到硅基板上,所述多层芯片上刻蚀有相对应的供冷却液水平方向流动的微流道和上下层流动的通孔,所述微流道和通孔的周围设置有密封环。本发明不仅降低了工艺复杂度和成本,也不会造成三维堆叠结构整体厚度的增加。

基本信息
专利标题 :
含有微流道散热结构的三维堆叠封装结构及其封装方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114551385A
申请号 :
CN202210454688.5
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-04-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘冠东王伟豪李顺斌张汝云
申请人 :
之江实验室
申请人地址 :
浙江省杭州市余杭区中泰街道之江实验室南湖总部
代理机构 :
杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人 :
孙孟辉
优先权 :
CN202210454688.5
主分类号 :
H01L23/473
IPC分类号 :
H01L23/473  H01L23/433  H01L23/488  H01L21/60  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/34
冷却装置;加热装置;通风装置或温度补偿装置
H01L23/46
包含有用流动流体传导热的
H01L23/473
通过流动液体的
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 23/473
申请日 : 20220428
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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