一种晶圆片玻璃浆填充装置
公开
摘要
一种晶圆片玻璃浆填充装置，包括：传送带以及沿传送带依次设置的上料机构、滴液机构、涂抹机构、烘干部、下料机构；上料机构和下料机构均包括两个承载组件，用于承载晶圆片，上料机构还包括第一推送组件，用于将晶圆片推送至传送带上，滴液机构用于向晶圆片表面滴落玻璃浆，涂抹机构用于将玻璃浆填充至晶圆片的沟槽中，烘干部用于烘干晶圆片表面的玻璃浆；下料机构还包括第二推送组件，用于将晶圆片推送至下料机构中。本方案在一个工作区域内自动实现晶圆片的上料和涂抹玻璃浆后的晶圆片的下料，同时在此过程中实现对晶圆片的滴注玻璃浆、涂抹填充和烘干，减少人工操作，减少材料的浪费，提高产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片玻璃浆填充装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114618754A
申请号 ：
CN202210526863.7
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-05-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蒋红全胡仲波冯永李健儿周建余
申请人 ：
四川上特科技有限公司
申请人地址 ：
四川省遂宁市射洪县河东大道88号
代理机构 ：
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 ：
吴飞
优先权 ：
CN202210526863.7
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05C9/14 B05C11/02 B05C13/02 H01L21/56
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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