一种用于晶片装管的工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶片装管的工装，包括：把手、连接件、晶片托及用于将晶片定位于晶片托的定位工件，晶片托设置于连接件的前端，把手设置于连接件的后端。通过本申请所提供的用于晶片装管的工装，可以将两片晶片在未装入石英管前即背靠背放好，不仅提升晶片在装入石英退火管过程中的安全性，同时避免在旋转过程中产生较大幅度的震动导致晶片崩角和崩边。另外，采用上述与放入晶片逆向的操作流程即可将两片晶片从石英管中安全的取出，不仅有效提升工艺效率，同时保证较好的工艺稳定性和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶片装管的工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220217843.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-26
授权号 ：
CN216686526U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
北京智创芯源科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区经海三路106号1幢一层
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
邵盼
优先权 ：
CN202220217843.7
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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