亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是一种亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法，它可以测量标准线宽，也可以测量微光斑尺度。它由计算机、显示器、A/D转换和存储部分、光电探头和含有象传递系统、软边光栏、被测物支架、鉴别率板和照明系统的光学部分所构成。本发明的测量装置及其测量方法具有分辨率高（分辨率是亚微米级的），工作距离长、景深区大、可做到绝对测量，不受周围环境的影响，结构简单，操作方便，造价低、应用面广等优点。
基本信息
专利标题 ：
亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1089718A
申请号 ：
CN93112518.9
公开（公告）日 ：
1994-07-20
申请日 ：
1993-08-10
授权号 ：
CN1037026C
授权日 ：
1998-01-14
发明人 ：
王桂英丁军陈秋水黄柳红
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 ：
上海华东专利事务所
代理人 ：
李兰英
优先权 ：
CN93112518.9
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B21/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2002-10-02 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-01-14 ：
授权
1994-09-07 ：
实质审查请求的生效
1994-07-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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