一种比较理想的新型的全耗尽垂直沟道双栅场效应晶体管，具有如下特点：是一种全耗尽的垂直沟道双栅结构；沟道长度和沟道硅膜厚度都能不依赖于光刻技术，这两个关键尺寸都可以被精确而均匀控制；而且可以在单位面积上实现两个并联的全耗尽垂直沟道双栅结构，从而增大器件的开态驱动电流。该结构在高集成度、低压低功耗的存储器和逻辑电路方面，具有很高的应用价值。本发明还提出了这种新型结构的制备方法，结合了三种工艺技术：替代栅技术、锗作牺牲层和锗的选择腐蚀、选择外延技术，在一个单元面积上形成两个全耗尽双栅垂直沟道器件，而且全耗尽双栅器件的两个关键尺寸，都可以得到精确控制，完全不依赖于光刻技术。