半导体制造设备控制系统及其方法

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明涉及通信领域。本发明提出一种半导体工艺设备控制系统，由工艺处理模块控制器(PMC)、以及相应的接口模块构成，还包括设备模块控制器(EMC)和设备工程数据库(EEDB)，其中，EMC作为统一控制器，与PMC、EEDB和接口模块相连，负责总调度与控制；EEDB与EMC和PMC连接，收集并存储来自于EMC以及PMC的信息并提供相应参数。本发明可以实现三大系统在设备端的整合，为工厂自动化系统提供更加整合及高效的设备控制，更大限度的实现半导体制造的弹性化，同时极大程度地简化半导体设备制造商的软硬件定制工作。

基本信息

专利标题：

半导体制造设备控制系统及其方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1851587A

申请号：

CN200510126398.4

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

史亚巍

申请人：

北京圆合电子技术有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

练光东

优先权：

CN200510126398.4

主分类号：

G05B19/418

IPC分类号：

G05B19/418 G05B15/02 H01L21/00

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G05

控制；调节

G05B

一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置

G05B19/00

程序控制系统

G05B19/02

电的

G05B19/418

全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制、柔性制造系统、集成制造系统、计算机集成制造

法律状态

2018-08-24 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

2011-04-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101081115633
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2005101263984
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京圆合电子技术有限责任公司
变更后权利人 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后权利人 : 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
登记生效日 : 20110311

2008-10-29 ：

授权

2006-12-20 ：

实质审查的生效

2006-10-25 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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