含台阶差图案形成方法和薄膜晶体管及液晶显示器制造方法
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摘要
含台阶差图案形成方法和薄膜晶体管及液晶显示器制造方法。一种形成具有台阶差的图案的方法和使用该形成图案的方法来制造薄膜晶体管及LCD器件的方法。形成具有台阶差的图案的方法包括:在第一印刷辊中形成具有预定形状的第一图案;在基板上旋转第一印刷辊以将第一图案转印到基板上;在第二印刷辊上形成具有预定形状的第二图案;以及在其上转印有第一图案的基板上旋转第二印刷辊以将第二图案转印到所述基板上。
基本信息
专利标题 :
含台阶差图案形成方法和薄膜晶体管及液晶显示器制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1790162A
申请号 :
CN200510132028.1
公开(公告)日 :
2006-06-21
申请日 :
2005-12-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴泰英
申请人 :
LG.菲利浦LCD株式会社
申请人地址 :
韩国首尔
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
黄纶伟
优先权 :
CN200510132028.1
主分类号 :
G03F1/00
IPC分类号 :
G03F1/00 B41J2/01 H01L29/786 G03F7/20 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
法律状态
2011-04-06 :
授权
2006-08-16 :
实质审查的生效
2006-06-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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