金属－绝缘体－金属电容器

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提出一种金属－绝缘体－金属(MIM)电容器，包括下电极、上电极以及电容介质层。上电极位于下电极上，而电容介质层则位于上电极与下电极之间。其中，电容介质层包括多层TiO₂层以及至少一层四方晶体结构材料层，而四方晶体结构材料层是位于两两TiO₂层之间，且每一四方晶体结构材料层具有相同厚度或不同的厚度。借着上述穿插在TiO₂层之间的四方晶体结构材料层可截断漏电路径，同时利用这些四方晶体结构材料层能够诱发TiO₂产生高介电常数的金红石相(rutile phase)。

基本信息

专利标题：

金属－绝缘体－金属电容器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1988078A

申请号：

CN200510132219.8

公开（公告）日：

2007-06-27

申请日：

2005-12-22

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

林哲歆王庆钧李隆盛

申请人：

财团法人工业技术研究院

申请人地址：

台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司

代理人：

王永红

优先权：

CN200510132219.8

主分类号：

H01G4/10

IPC分类号：

H01G4/10 H01G4/12 H01L29/00