带有色要素膜基板的制造方法及带有色要素膜基板

专利权的终止

摘要

一种带有色要素膜基板的制造方法，包括：在支撑基板(12)上将第1层(13)及具有光硬化性的第2层(14)以该顺序层叠，经过曝光、显影，将第1层(13)及第2层(14)的一部分除去，将其剩余部分作为堤堰(16)的堤堰形成工序、向由堤堰划分出的分区中赋予色要素膜形成用的液状材料的液状材料赋予工序、通过使赋予分区的液状材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，第1层(13)可溶于显影的显影液中，第2层(14)可溶于显影液中，并且与第1层(13)相比向显影液中的溶解速度更慢，利用显影，使第2层(14)的剩余部分的宽度大于第1层(13)的剩余部分的宽度，形成堤堰。

基本信息

专利标题：

带有色要素膜基板的制造方法及带有色要素膜基板

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1797211A

申请号：

CN200510133820.9

公开（公告）日：

2006-07-05

申请日：

2005-12-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

片上悟

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

优先权：

CN200510133820.9

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 H01L21/027 G02B5/20 H01L27/28