掩模框和使掩模固定在掩模框上的方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供了一种掩模框，具有图案区域和限定图案区域的掩模边缘的掩模固定在该掩模框上，该掩模框包括：通口，与图案区域对应；基底，与掩模边缘对应。基底设置有在其内形成的排放孔，真空泵与排放孔结合，从而使掩模固定到掩模框而没有损坏形成在掩模的图案区域上的图案。

基本信息

专利标题：

掩模框和使掩模固定在掩模框上的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1824824A

申请号：

CN200510137658.8

公开（公告）日：

2006-08-30

申请日：

2005-12-31

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

康熙哲金振圭

申请人：

三星SDI株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

郭鸿禧

优先权：

CN200510137658.8

主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/04 C23C16/04 H01L21/203 H01L21/205

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/04

局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物

法律状态

2011-01-05 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101058675322
IPC(主分类) : C23C 14/04
专利申请号 : 2005101376588
公开日 : 20060830

2009-02-18 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20090116

2006-10-25 ：

实质审查的生效

2006-08-30 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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