公开了一种由插入到导体之间的半导体结型二极管形成的存储单元。通过使存储单元呈现非常高的电阻来对所述单元编程，使得当施加读取电压时在导体之间不再流过电流。在该单元中，二极管表现为熔丝。半导体结型二极管包括硅，所述硅与硅化物相接触时结晶化。硅化物可以提供用于结晶化的模板，降低了硅的缺陷密度并且提高了其导电性。在形成硅化物的步骤期间，还原插入在硅和硅成形金属之间的电介质层(例如，氧化物、氮化物、或氮氧化物)是有利的。