在热化学气相沉积工艺中沉积钌金属层的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供了一种在衬底上沉积Ru金属层的方法。所述方法包括：将衬底提供到处理室中；将处理气体引入所述处理室，其中，所述处理气体包括载气、钌－羰基前驱体和氢气。本发明还包括通过热化学气相沉积工艺将Ru金属层沉积到所述衬底上。在本发明的一个实施方式中，所述钌－羰基前驱体包括Ru3(CO)12，并且所述Ru金属层可以在使所述Ru金属层主要具有Ru(002)结晶取向的衬底温度下沉积。
基本信息
专利标题 ：
在热化学气相沉积工艺中沉积钌金属层的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101027426A
申请号 ：
CN200580032606.2
公开（公告）日 ：
2007-08-29
申请日 ：
2005-09-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
山崎英亮河野有美子格特·J·莱乌辛克
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李剑
优先权 ：
CN200580032606.2
主分类号 ：
C23C16/18
IPC分类号 ：
C23C16/18 H01L21/285
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/06
以金属材料的沉积为特征的
C23C16/18
自有机金属化合物
法律状态
2010-08-25 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101006991184
IPC(主分类) : C23C 16/18
专利申请号 : 2005800326062
公开日 : 20070829
号牌文件序号 : 101006991184
IPC(主分类) : C23C 16/18
专利申请号 : 2005800326062
公开日 : 20070829
2007-12-05 ：
实质审查的生效
2007-08-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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