用于半导体模块中的热耗散的方法和装置
专利权的终止
摘要
本发明提供了一种用于耗散半导体器件芯片中的热量的结构和方法。介电材料(例如聚酰亚胺)的第一层形成在散热器(一般是Si)的前面上。形成通过所述第一层的多个开孔;所述开孔被填充金属(一般是铜),从而形成通过第一层延伸的金属柱。在器件芯片的背面上形成第二金属层。然后在键合处理中键合第一层和第二层从而形成键合层,其中所述金属柱接触所述第二层。因而所述键合层提供从芯片到散热器的导热通路。
基本信息
专利标题 :
用于半导体模块中的热耗散的方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1828876A
申请号 :
CN200610005125.9
公开(公告)日 :
2006-09-06
申请日 :
2006-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
H.·伯恩哈德·波格
申请人 :
国际商业机器公司
申请人地址 :
美国纽约
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 :
马浩
优先权 :
CN200610005125.9
主分类号 :
H01L23/373
IPC分类号 :
H01L23/373
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/34
冷却装置;加热装置;通风装置或温度补偿装置
H01L23/36
为便于冷却或加热对材料或造型的选择,例如散热器
H01L23/373
为便于冷却的器件材料选择
法律状态
2020-12-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 23/373
申请日 : 20060112
授权公告日 : 20081112
终止日期 : 20200112
申请日 : 20060112
授权公告日 : 20081112
终止日期 : 20200112
2017-12-08 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 23/373
登记生效日 : 20171121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 国际商业机器公司
变更后权利人 : 格芯美国第二有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约
变更后权利人 : 美国纽约
登记生效日 : 20171121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 国际商业机器公司
变更后权利人 : 格芯美国第二有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约
变更后权利人 : 美国纽约
2017-12-08 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 23/373
登记生效日 : 20171121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 格芯美国第二有限责任公司
变更后权利人 : 格芯公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约
变更后权利人 : 开曼群岛大开曼岛
登记生效日 : 20171121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 格芯美国第二有限责任公司
变更后权利人 : 格芯公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约
变更后权利人 : 开曼群岛大开曼岛
2008-11-12 :
授权
2006-10-25 :
实质审查的生效
2006-09-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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