光刻胶组合物及用它形成薄膜图案的方法以及用它制备薄膜晶体...
专利权的终止
摘要
一种光刻胶组合物，其包含下式所示的酚醛清漆树脂；具有式Z1－SH或SH－Z2－SH的巯基化合物(其中Z1和Z2各自是含有1～20个碳原子的烷基或烯丙基)；感光剂；及溶剂。在下式中，R1、R2、R3和R4各自是氢原子或具有1～6个碳原子的烷基，并且n是0～3的整数。
基本信息
专利标题 ：
光刻胶组合物及用它形成薄膜图案的方法以及用它制备薄膜晶体管阵列板的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1815366A
申请号 ：
CN200610007140.7
公开（公告）日 ：
2006-08-09
申请日 ：
2006-02-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴廷敏柳美善李羲国全佑奭
申请人 ：
三星电子株式会社;株式会社三养EMS
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
张平元
优先权 ：
CN200610007140.7
主分类号 ：
G03F7/038
IPC分类号 ：
G03F7/038 G03F7/039 G03F7/20 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/038
高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的
法律状态
2022-01-14 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/038
申请日 : 20060205
授权公告日 : 20110803
终止日期 : 20210205
申请日 : 20060205
授权公告日 : 20110803
终止日期 : 20210205
2014-03-05 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101696191638
IPC(主分类) : G03F 7/038
专利号 : ZL2006100071407
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星显示有限公司
变更后权利人 : 株式会社三养社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国首尔市
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社三养EMS
变更后权利人 : 三星显示有限公司
登记生效日 : 20140207
号牌文件序号 : 101696191638
IPC(主分类) : G03F 7/038
专利号 : ZL2006100071407
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星显示有限公司
变更后权利人 : 株式会社三养社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国首尔市
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社三养EMS
变更后权利人 : 三星显示有限公司
登记生效日 : 20140207
2012-12-19 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101487800643
IPC(主分类) : G03F 7/038
专利号 : ZL2006100071407
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星电子株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社三养EMS
变更后权利人 : 株式会社三养EMS
登记生效日 : 20121119
号牌文件序号 : 101487800643
IPC(主分类) : G03F 7/038
专利号 : ZL2006100071407
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星电子株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社三养EMS
变更后权利人 : 株式会社三养EMS
登记生效日 : 20121119
2011-08-03 ：
授权
2008-04-09 ：
实质审查的生效
2006-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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