基板处理装置
专利权的终止
摘要
本发明提供一种基板处理装置，用于减少设置所必需的占地面积，可以用简单的结构以倾斜姿态搬送基板，降低设备成本。搬送方向转换部(40)转换搬送方向，通过该倾斜搬送部(49)，在大致维持通过第一搬送路(41)的梯度而处于倾斜姿态的状态不变的条件下，将在第一处理部(20)实施处理后的基板搬送到第二搬送路(43)。液体供给部向由此倾斜搬送部(49)搬送的基板(B)的主面供给处理液。在第二搬送路(43)以及第二处理部(30)，使由倾斜搬送部(49)保持为倾斜姿态的基板，以原姿态在与第一处理部20相反方向上进行搬送和处理。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1812071A
申请号 ：
CN200610051362.9
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-01-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小田裕史川根旬平
申请人 ：
大日本网目版制造株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
高龙鑫
优先权 ：
CN200610051362.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/00 B08B3/02 B65G49/06
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2015-02-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101599918847
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2006100513629
申请日 : 20060105
授权公告日 : 20110803
终止日期 : 20140105
号牌文件序号 : 101599918847
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2006100513629
申请日 : 20060105
授权公告日 : 20110803
终止日期 : 20140105
2011-08-03 ：
授权
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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