一种金属－绝缘体－金属射频测试结构

专利权的终止

摘要

一种金属－绝缘体－金属射频测试结构，包括底层金属层、绝缘体层和顶层金属层，在金属－绝缘体－金属射频测试结构的顶层金属上的第一区域内设置多个测试触点，所述测试触点尽可能多地分布在顶层金属上的第一区域内。本实用新型通过在金属－绝缘体－金属射频测试结构顶层金属上增设多个测试触点，使其在测试时形成电阻并联的形式，从而大大降低了金属－绝缘体－金属(MIM)电容的电阻值，并提高了品质因素值。

基本信息

专利标题：

一种金属－绝缘体－金属射频测试结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620046824.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-10-13

授权号：

CN200962421Y

授权日：

2007-10-17

发明人：

苏鼎杰柯天麒郑敏祺耿静

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200620046824.3

主分类号：

H01L23/544

IPC分类号：

H01L23/544

相关图片

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L23/00

半导体或其他固态器件的零部件

H01L23/544

加到半导体器件上的标志，例如注册商标、测试图案

法律状态

2016-11-23 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101689446743
IPC(主分类) : H01L 23/544
专利号 : ZL2006200468243
申请日 : 20061013
授权公告日 : 20071017
终止日期 : 无

2013-02-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101519794002
IPC(主分类) : H01L 23/544
专利号 : ZL2006200468243
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130121

2007-10-17 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN200962421Y.PDF

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