衬底架的传输固定装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供一种用于保持衬底架的传输固定装置，其包括用数个支柱连接的顶部端板和底部端板。这些支柱间隔开足够距离，以将衬底架限定在它们之间。每个支柱都具有带有适应性缓冲器的纵向内部边缘，该缓冲器缓冲衬底架。传输外壳能够封闭固定装置，并且该外壳的至少一部分为透光的，以允许在不打开外壳的情况下看到固定装置和架。外部的硬箱体能够封闭外壳，用于进一步保护。
基本信息
专利标题 ：
衬底架的传输固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620121346.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-06-05
授权号 ：
CN200986915Y
授权日 ：
2007-12-05
发明人 ：
罗纳尔·维恩·肖尔
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
赵飞
优先权 ：
CN200620121346.8
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 B65D81/02 B65D85/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2014-07-30 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101584072233
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利号 : ZL2006201213468
申请日 : 20060605
授权公告日 : 20071205
终止日期 : 20130605
号牌文件序号 : 101584072233
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利号 : ZL2006201213468
申请日 : 20060605
授权公告日 : 20071205
终止日期 : 20130605
2007-12-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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