本实用新型公开了一种蚀刻机。本实用新型蚀刻机包括蚀刻机内用来进行刻蚀晶圆的腔体和位于该腔体内壁上用来阻挡等离子气体的隔离门以及连接隔离门并控制隔离门开关的隔离门控制装置，该隔离门控制装置包括：气缸，连通隔离门，用于开启及关闭隔离门；进气管道，连通气缸上的进气口，用于向气缸输入气体控制气缸开启隔离门；出气管道，连通气缸上的出气口，用于从气缸抽取气体控制气缸关闭隔离门；进气管道和出气管道上的可调节装置，用于分别控制进气管道和出气管道内的气体流量。本实用新型蚀刻机能够通过隔离门控制装置以较高精度控制蚀刻机腔体内隔离门的开关速度，提高了腔体的使用寿命，并且解决了更换蚀刻机内气缸引起的开支巨大的问题。