本实用新型涉及一种光掩模充气柜结构，尤指一种使得光掩模移转容器内部保持较佳洁净度的充气柜结构，其包含有一中空的柜体，且柜体内设有至少一供光掩模的移转容器定位放置的循环单元，该循环单元具有至少一充气元件与至少一排气元件，其中充气元件可选择性对密合的移转容器内部注入干净气体，而排气元件可将密合的移转容器内部的气体排出，使得该移转容器内部的气体形成进、出的流动状态，而能长时间维持移转容器内相邻光掩模环境的洁净度，以减少光掩模与光掩模护膜表面产生微粒附着与雾化等现象，进而提升储存光掩模的洁净度。