改进型多晶硅还原炉
专利权的终止
摘要
改进型多晶硅还原炉,主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气口、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成,炉体主体采用不锈钢材质制成,以减少设备材质对产品的污染,其特征是在底盘上增加一个混和气尾气出气导管,混和气进气管喷口喷出的混合气不会直接经混和气尾气出气口排出,使还原炉内混和气气体流场分布整体上移,还原炉内三氯氢硅和氢气的混和气的气体流场分布更均匀,有利于多晶硅在硅芯上均匀沉积,提高多晶硅产品的质量,解决了混和气气体在还原炉内分布不均匀的现象。
基本信息
专利标题 :
改进型多晶硅还原炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720306394.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-12-19
授权号 :
CN201105995Y
授权日 :
2008-08-27
发明人 :
王存惠朱青松
申请人 :
王存惠;朱青松
申请人地址 :
221000江苏省徐州西安南路苏堤小区1号楼4单元401室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200720306394.9
主分类号 :
C01B33/03
IPC分类号 :
C01B33/03 F27B5/04
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/03
使用卤化硅或卤化硅烷的分解,或其以氢作为惟一的还原剂的还原
法律状态
2013-02-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101398717596
IPC(主分类) : C01B 33/03
申请日 : 20071219
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 20111219
专利号 : ZL2007203063949
号牌文件序号 : 101398717596
IPC(主分类) : C01B 33/03
申请日 : 20071219
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 20111219
专利号 : ZL2007203063949
2009-08-12 :
专利实施许可合同的备案
合同备案号 : 2009320000988
让与人 : 朱青松|王存惠
受让人 : 江苏中能硅业科技发展有限公司
发明名称 : 改进型多晶硅还原炉
申请日 : 20071219
授权公告日 : 20080827
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 2009.6.10
合同履行期限 : 2009.4.22至2017.12.18合同变更
让与人 : 朱青松|王存惠
受让人 : 江苏中能硅业科技发展有限公司
发明名称 : 改进型多晶硅还原炉
申请日 : 20071219
授权公告日 : 20080827
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 2009.6.10
合同履行期限 : 2009.4.22至2017.12.18合同变更
2008-08-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN201105995Y.PDF
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