改进型多晶硅还原炉，主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气口、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是在底盘上增加一个混和气尾气出气导管，混和气进气管喷口喷出的混合气不会直接经混和气尾气出气口排出，使还原炉内混和气气体流场分布整体上移，还原炉内三氯氢硅和氢气的混和气的气体流场分布更均匀，有利于多晶硅在硅芯上均匀沉积，提高多晶硅产品的质量，解决了混和气气体在还原炉内分布不均匀的现象。