一种离子镀弧斑控制装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及薄膜制备领域,具体地说是一种新型离子镀弧斑控制装置,所述新型离子镀弧斑控制装置的靶材底座后面设有由小型直流电机或者交流电机驱动的旋转磁场发生装置,电机驱动固定在电机转轴上的磁轭带动合理分布在磁轭上的永磁体转动,不同的永磁体分布产生不同位形结构的旋转磁场,实现多控制模式的目的。本实用新型利用简单紧凑的装置结构和不同的永磁体分布方式,产生不同位形的动态旋转磁场,用以改善弧斑的放电形式,控制弧斑的运动轨迹,提高靶材利用率和刻蚀均匀性,减少或抑制靶材大颗粒的发射,用以制备高质量的薄膜,达到在一个离子镀弧斑控制装置上实现多种形式的弧斑控制,满足不同方面的需求,拓展电弧离子镀的应用范围。

基本信息
专利标题 :
一种离子镀弧斑控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820013110.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-05-23
授权号 :
CN201190180Y
授权日 :
2009-02-04
发明人 :
肖金泉郎文昌孙超宫骏赵彦辉华伟刚闻立时
申请人 :
中国科学院金属研究所
申请人地址 :
110016辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
代理机构 :
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 :
张志伟
优先权 :
CN200820013110.1
主分类号 :
C23C14/54
IPC分类号 :
C23C14/54  C23C14/24  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2013-07-17 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101489540942
IPC(主分类) : C23C 14/54
专利号 : ZL2008200131101
申请日 : 20080523
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20120523
2009-02-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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