一种可提高转移灵活性的晶舟转换器
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种可提高转移灵活性的晶舟转换器,用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟。现有技术的顶推件为一体件,其仅能将初始晶舟中所有的晶圆同时转移到目的晶舟,无法进行选择性的转移。本实用新型具有底座和顶推机构,该底座上具有容纳该顶推机构的导轨和用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置,该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设置在该从动件上的连接件以及垂直设置在该连接件上的顶推件,该顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元,该些顶推单元轴接在该连接件上且其对应是否用于顶推晶圆而具有顶推位和闲置位。采用本实用新型可提高晶舟转换器转移晶圆的灵活性和效率。

基本信息
专利标题 :
一种可提高转移灵活性的晶舟转换器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820055269.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-31
授权号 :
CN201163620Y
授权日 :
2008-12-10
发明人 :
赵俊深吕秋玲杨洪春
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所
代理人 :
屈蘅
优先权 :
CN200820055269.X
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  B65G49/07  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2018-02-27 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20080131
授权公告日 : 20081210
2013-03-20 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101538794102
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL200820055269X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130219
2008-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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