带有一次加料器的直拉单晶炉
专利权的终止
摘要

带有一次加料器的直拉单晶炉,包括一个带有加热石英坩埚的直拉单晶炉本体,其特征在于,所述直拉单晶炉本体上设置有用于添加硅料的高纯透明石英玻璃管加料器,所述加料器的最大直径处尺寸为石英坩埚直径的40%~45%,所述加料器的总高度为石英坩埚高度的2~2.5倍,加料器的壁厚度为2~5mm。加料器有直圆筒形、圆锥台型、低端带有喇叭口型、低端带有收口型四种,可以满足不同形状种类的原料进行添加。采用本实用新型对提高大直径硅单晶的产能及成本的下降有明显的效果。产能能提高20%以上,成本可下降5%以上。

基本信息
专利标题 :
带有一次加料器的直拉单晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820059264.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-05-30
授权号 :
CN201214688Y
授权日 :
2009-04-01
发明人 :
施美生许雪松
申请人 :
上海九晶电子材料股份有限公司
申请人地址 :
201617上海市松江区长塔路399号
代理机构 :
上海天翔知识产权代理有限公司
代理人 :
陈学雯
优先权 :
CN200820059264.4
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2018-06-22 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : C30B 15/00
申请日 : 20080530
授权公告日 : 20090401
2013-07-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101628228814
IPC(主分类) : C30B 15/00
专利号 : ZL2008200592644
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海九晶电子材料股份有限公司
变更后权利人 : 九晶(雅安)电子材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201617 上海市松江区长塔路399号
变更后权利人 : 625100 四川省雅安市工业园区
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 上海九晶电子材料股份有限公司
登记生效日 : 20130619
2009-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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