用于传递晶圆的机械手臂及该机械手臂中的插片组件

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于传递晶圆的机械手臂。本实用新型将机械手臂中的前端定位台与插片之间的单点固定方式改为两点固定方式，以避免前端定位台由于其限位凸台被晶圆碰撞而发生旋转偏移，从而避免圆形限位区域的局部形状和大小发生变化，进而避免晶圆由于在圆形限位区域内滑动而撞击破碎。本实用新型还公开了一种用于传递晶圆的机械手臂中的插片组件。

基本信息

专利标题：

用于传递晶圆的机械手臂及该机械手臂中的插片组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820110167.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-09

授权号：

CN201282134Y

授权日：

2009-07-29

发明人：

万川

申请人：

中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

申请人地址：

100176北京市经济技术开发区文昌大道18号

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司

代理人：

王琦

优先权：

CN200820110167.3

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 B65G47/90 B65G49/07 B25J9/02

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/677

用于传送的，例如在不同的工作站之间

法律状态

2018-10-09 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20080909
授权公告日 : 20090729

2009-07-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载