改进型硅晶片磨削进给结构
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了改进型硅晶片磨削进给结构。其在保证磨削质量的基础上,整个进给结构结构小,制造成本较低。其特征在于:其分别包括伺服电机、滚动丝杆,所述伺服电机分别通过连轴器连接所述滚珠丝杆,所述滚珠丝杆的丝杆座分别安装于支架,所述滚珠丝杆的前部分别装有螺母,所述螺母外侧分别套有螺母套,螺母套分别与拖板连接,所述拖板上部分别装有磨头,所述磨头共两个,且面对面布置。
基本信息
专利标题 :
改进型硅晶片磨削进给结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820184876.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-08-29
授权号 :
CN201264215Y
授权日 :
2009-07-01
发明人 :
刘建清余江峰
申请人 :
无锡开源机床集团有限公司
申请人地址 :
214177江苏省无锡市滨湖区湖滨路11号
代理机构 :
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
顾吉云
优先权 :
CN200820184876.6
主分类号 :
B24B47/20
IPC分类号 :
B24B47/20 H01L21/304
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B47/00
磨削机床或装置的驱动或传动装置;及其设备
B24B47/20
有关进给运动
法律状态
2012-11-14 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101344510876
IPC(主分类) : B24B 47/20
专利号 : ZL2008201848766
申请日 : 20080829
授权公告日 : 20090701
终止日期 : 20110829
号牌文件序号 : 101344510876
IPC(主分类) : B24B 47/20
专利号 : ZL2008201848766
申请日 : 20080829
授权公告日 : 20090701
终止日期 : 20110829
2009-07-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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