一种用于掩膜版的定位确认装置

专利权的终止

摘要

本实用新型适用于零部件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置，它包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量，可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。

基本信息

专利标题：

一种用于掩膜版的定位确认装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820212006.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-24

授权号：

CN201237696Y

授权日：

2009-05-13

发明人：

郝明毅

申请人：

清溢精密光电(深圳)有限公司

申请人地址：

518057广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

代理机构：

深圳中一专利商标事务所

代理人：

张全文

优先权：

CN200820212006.5

主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F9/00 G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F9/00

原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地

法律状态

2018-10-23 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : G03F 9/00
申请日 : 20080924
授权公告日 : 20090513

2010-12-22 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101054994220
IPC(主分类) : G03F 9/00
专利号 : ZL2008202120065
变更事项 : 专利权人
变更前 : 清溢精密光电(深圳)有限公司
变更后 : 深圳清溢光电股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518057 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号
变更后 : 518057 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

2009-05-13 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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