用于掩膜版的加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于掩膜版的加热装置，包括加热板，加热板上布置有垂直于加热板的顶针，掩膜版布置在顶针上的表面，所述顶针包括顶杆和布置顶杆上部的顶帽；所述顶杆和顶帽螺纹连接，顶杆上设置有螺纹孔，顶帽上设置有与螺纹孔匹配的螺纹杆；相比于传统整体式的顶针而言，本实用新型将顶针设置为分离式的顶杆和顶帽，且顶杆和顶帽螺纹连接，通过旋转顶帽进而使顶针的高度持续可调，进而保证了顶针上表面掩膜版的水平度，使掩膜版受热均匀，提高了掩膜版的质量；且本装置结构简单、调节方便。
基本信息
专利标题 ：
用于掩膜版的加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020979704.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-02
授权号 ：
CN211905978U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
林伟林超王伟轶周荣梵
申请人 ：
成都路维光电有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区康强三路1666号
代理机构 ：
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余翔
优先权 ：
CN202020979704.9
主分类号 ：
G03F7/38
IPC分类号 ：
G03F7/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/38
去除影像之前的处理，例如，预烘干
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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