一种用于掩膜板的精准定位装置
授权
摘要
本实用新型涉及掩膜板的定位技术领域，具体是一种用于掩膜板的精准定位装置，用于解决现有技术中掩膜板与放置框之间放置不精准的问题。本实用新型包括机架、CCD相机和传送机构，所述传送机构的顶面放置有载板，所述载板的顶面放置有多个放置框，所述放置框内放置有多个硅片，所述载板的顶面还开有多个定位孔；还包括型材架子，所述型材架子的顶面安装有DD马达，所述型材架子的下部均匀的安装有多个吸盘，所述吸盘的下端吸附有掩膜板，所述型材架子上还安装有与定位孔对应的定位装置。本实用新型通过DD马达的位置参数将掩膜板补偿到达理想位置，通过定位装置与定位孔的配合可以使掩膜板精准的定位在放置框上。
基本信息
专利标题 ：
一种用于掩膜板的精准定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922060045.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-25
授权号 ：
CN211125675U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
李健张智富
申请人 ：
中威新能源(成都)有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流区中国(四川)自由贸易试验区成都市双流西南航空港经济开发区内
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
梁伟东
优先权 ：
CN201922060045.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67 H01L21/68
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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