蚀刻液组合物及利用该组合物的金属布线的制造方法
授权
摘要
根据本发明的一个实施例提供一种蚀刻液组合物及利用该组合物的金属布线的制造方法，蚀刻液组合物包含：8重量％至20重量％的过硫酸盐系化合物；从0.1重量％至5重量％的1‑氮系环型化合物、0.05重量％至1重量％的3‑氮系环型化合物及这些化合物的混合物中选择的1种以上的氮系环型化合物；0.1重量％至1重量％的氟系化合物；0.1重量％至1重量％的铜腐蚀防止化合物；以及余量的水。
基本信息
专利标题 ：
蚀刻液组合物及利用该组合物的金属布线的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108251842A
申请号 ：
CN201711082676.X
公开（公告）日 ：
2018-07-06
申请日 ：
2017-11-07
授权号 ：
CN108251842B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
裵俊佑朴弘植金奎佈申贤哲李相赫
申请人 ：
三星显示有限公司;株式会社东进世美肯
申请人地址 ：
韩国京畿道龙仁市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
李盛泉
优先权 ：
CN201711082676.X
主分类号 ：
C23F1/44
IPC分类号 ：
C23F1/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/44
从一种不同成分的金属材料基体上蚀刻金属材料的组合物
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-01-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/44
申请日 : 20171107
申请日 : 20171107
2018-07-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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