半导体工艺用组合物及半导体工艺
授权
摘要
提供一种半导体工艺用组合物，其包含：包含无机酸或有机酸的第一成分；以及包含由化学式1表示的硅化合物的第二成分，还提供一种半导体工艺，包括使用上述半导体工艺用组合物选择性地清洁及/或者除去有机物或无机物的步骤。
基本信息
专利标题 ：
半导体工艺用组合物及半导体工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110229720A
申请号 ：
CN201910161444.6
公开（公告）日 ：
2019-09-13
申请日 ：
2019-03-04
授权号 ：
CN110229720B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
金炳秀晋圭安吴濬禄
申请人 ：
SKC株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市长安区长安路309番街84
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN201910161444.6
主分类号 ：
C11D7/08
IPC分类号 ：
C11D7/08 C11D7/10 C11D7/22 C11D7/26 C11D7/34 C11D7/50 H01L21/02 C11D7/60
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛
C11D
洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收
C11D7/00
主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物
C11D7/02
无机化合物
C11D7/04
水溶性化合物
C11D7/08
酸
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-04-13 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : C11D 7/08
登记生效日 : 20210401
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : SKC株式会社
变更后权利人 : SKC索密思株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道水原市长安区长安路309番街84
变更后权利人 : 韩国京畿道平泽市京畿大道1043号
登记生效日 : 20210401
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : SKC株式会社
变更后权利人 : SKC索密思株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道水原市长安区长安路309番街84
变更后权利人 : 韩国京畿道平泽市京畿大道1043号
2019-10-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C11D 7/08
申请日 : 20190304
申请日 : 20190304
2019-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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