一种利用扫描探针探测材料介电常数的方法
授权
摘要
本发明公开了一种利用扫描探针显微技术探测材料介电常数的方法。本发明包括如下步骤：首先，利用静电力显微镜的电场梯度探测获得探针与试样间电容梯度的实验值；然后利用镜像电荷法建立探针试样间电容随试样介电常数变化的理论模型；最后将实验值与理论模型进行比较，推断出试样的介电常数。本发明能够获知试样在纳米尺度下的介电常数信息，且具有无损伤探测的优点，适用于各种电介质如绝缘体或半导体等材料的表征。
基本信息
专利标题 ：
一种利用扫描探针探测材料介电常数的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110672882A
申请号 ：
CN201911079283.2
公开（公告）日 ：
2020-01-10
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN110672882B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
许杰陈剑锋陈龙于天祺蔡远凌云
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区文苑路9号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹坤
优先权 ：
CN201911079283.2
主分类号 ：
G01Q60/00
IPC分类号 ：
G01Q60/00 G01R27/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-02-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 60/00
申请日 : 20191107
申请日 : 20191107
2020-01-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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