掩膜基板及具有它的掩膜板
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种掩膜基板及具有它的掩膜板,其中,该掩膜基板包括基板本体,基板本体具有蒸镀面、与蒸镀面相背的玻璃面及自蒸镀面贯穿至玻璃面的多个蒸镀孔;蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。根据本实用新型提供的掩膜基板及具有它的掩膜板,蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面,如此,一方面,有机材料能够挂在该粗糙面上,不易掉落至下方的蒸发源中,可以确保蒸发源的洁净度,减少有机材料的浪费,降低成材料成本。另一方面,可以提高掩膜板单次使用时间,进而提高生产效率。再一方面,掩膜板单次使用时间越长,则可以减少掩膜板清洗的频率,进而延长掩膜板的使用寿命,进一步降低生产成本。

基本信息
专利标题 :
掩膜基板及具有它的掩膜板
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920426839.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-03-29
授权号 :
CN209873079U
授权日 :
2019-12-31
发明人 :
唐军
申请人 :
唐军
申请人地址 :
广东省深圳市坪山区碧岭街道沙湖社区锦龙大道南2-10号1栋3楼、2栋2楼
代理机构 :
广州市南锋专利事务所有限公司
代理人 :
郑学伟
优先权 :
CN201920426839.X
主分类号 :
C23C14/04
IPC分类号 :
C23C14/04  C23C14/12  C23C14/24  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物
法律状态
2020-07-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/04
登记生效日 : 20200622
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 唐军
变更后权利人 : 安徽浚颍光电有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市坪山区碧岭街道沙湖社区锦龙大道南2-10号1栋3楼、2栋2楼
变更后权利人 : 236000 安徽省阜阳市颍上县慎城镇颍上经济开发区综合产业园6-7栋
2019-12-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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