该实用新型涉及一种自清洗管路及晶圆处理装置，其中自清洗管路包括：循环管路，首尾相连，并连通至化学品源，用于供自化学品源流出的化学品流动；传输管路，连通到循环管路，将循环管路内流动的化学品排出至腔体；清洗液源，连通至传输管路，提供清洗传输管路用的清洗液；干燥气体源，连通至传输管路，用于提供干燥传输管路用的干燥气体；三通阀，连通至传输管路，以及连通至清洗液源和干燥气体源，用于控制清洗液和干燥气体流入至传输管路；四通阀，连通至循环管路的首尾、传输管路，以及三通阀，用于控制化学品、清洗液或干燥气体流入至传输管路。上述自清洗管路及晶圆处理装置降低了生产成本，提高了产品的良率，降低了清洗传输管路的难度。