一种ITO靶材解绑装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种ITO靶材解绑装置，包括工作平台、二甲基硅油油浴装置、靶材支撑架、背板支撑架、刮铟板和背板夹持器，所述二甲基硅油油浴装置安装在工作平台上，靶材支撑架和背板支撑架安装在二甲基硅油油浴装置内，二甲基硅油油浴装置相对的两侧边缘顶端分别设置有滑道，刮铟板活动安装在其中一个滑道内，背板夹持器活动安装在另一个滑道内。与现有技术相比较，本实用新型的优点是：使用二甲基硅油对残靶各面进行加热，使焊料层（铟层）逐渐融化，从而使ITO靶材与铜背板脱离，此解绑方式一方面可以保证ITO残靶的完整性；另一方面，使贵重金属铟能够得到回收，一定程度上节约了生产成本，同时过滤后的二甲基硅油也可以重复再利用。
基本信息
专利标题 ：
一种ITO靶材解绑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920475130.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-09
授权号 ：
CN209957865U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
姚远杜宝珩郭朋
申请人 ：
洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇）
代理机构 ：
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
韦微
优先权 ：
CN201920475130.9
主分类号 ：
C22B7/00
IPC分类号 ：
C22B7/00 C22B58/00 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C22
冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理
C22B
金属的生产或精炼；原材料的预处理
C22B7/00
处理非矿石原材料以生产有色金属或其化合物
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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