一种靶材解绑装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种靶材解绑装置，包括解绑容器，所述解绑容器内设置有支撑底板，所述支撑底板中心设置有双向丝杆，所述双向丝杆一侧在所述解绑容器外侧设置有把手，所述双向丝杆上对称设置有夹板，所述解绑容器相对的两侧边缘顶端均设置有滑道，所述滑到内活动安装有刮铟板，所述解绑容器底部设置有回收斗，所述回收斗底端设置有滤网，所述滤网下部出口连接有第一管道，所述第一管道连接至储剂罐；所述储剂罐与所述解绑容器之间设置有第二管道。本实用新型结构简单，可以简单快速的将废靶材与背板分离，从而提高背板的回收利用率，而且可以回收铟，减小使用成本。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材解绑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021279924.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-02
授权号 ：
CN212713732U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
何建进陈江伟何凌男
申请人 ：
苏州精美科光电材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区1栋104室
代理机构 ：
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄少波
优先权 ：
CN202021279924.7
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C22B7/00 C22B58/00 B25B11/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
