本实用新型公开了一种真空气相沉积设备的沉积反应室，包括沉积室、机罩、驱动电机、温度检测器和滚轮，所述沉积室内部的底端固定有机罩，且机罩内部的中心位置处安装有驱动电机，所述机罩外侧的沉积室内壁上安装有环形支台，所述旋转支盘底端的中心位置处安装有转轴，所述旋转支盘上方的沉积室内侧壁上设置有圆置槽，所述沉积室顶端的内侧壁上安装有喷洒盘，喷洒盘的底部设置有等间距的电动喷头，所述电动喷头外侧的喷洒盘底端焊接有涡旋导流罩，所述沉积室一侧的外壁上安装有控制面板。本实用新型不仅实现了沉积反应室沉积过程中的集聚功能，实现了沉积反应室喷洒时的涡旋诱导功能，而且改善了沉积反应室的沉积环境。