用于硅片花篮的装篮搬运机

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摘要

本申请公开了一种用于硅片花篮的装篮搬运机，包括机架、抓取机构和推车，推车与机架抽屉式连接，机架内设有花篮放置腔，花篮放置腔的底面由至少一块固定板、推车的顶板以及托板拼接而成，花篮放置腔侧壁上设有开口，托板对应开口设置，托板通过第一垂直气缸与机架连接，固定板与机架固定连接，抓取机构包括一对横向电缸、纵向电缸和第二垂直电缸，一对横向电缸对称设置在花篮放置腔顶部，纵向电缸与一对横向电缸滑动连接，第二垂直电缸与横向电缸垂直设置，垂直电缸与横向电缸滑动连接，垂直电缸上设有上下移动的双向气缸，双向气缸的输出端分别连接有夹片。该用于硅片花篮的装篮搬运机通过各电缸联动以及夹片夹持，实现多角度自动化抓取花篮。

基本信息

专利标题：

用于硅片花篮的装篮搬运机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920552978.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-22

授权号：

CN209607717U

授权日：

2019-11-08

发明人：

杨宣教

申请人：

张家港市德昶自动化科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村（金港大道东侧）1室张家港市德昶自动化科技有限公司

代理机构：

苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

马丽丽

优先权：

CN201920552978.7

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677