一种硅片质量测试设备

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摘要

本实用新型涉及涉及硅片生产工艺相关技术，具体是一种硅片质量测试设备，包括机台，所述机台两侧分别设置有电连接检测架和硬度检测架，所述机台的主体为传动架，所述传动架内腔横向安装有传动螺杆，所述传动螺杆上安装有螺纹套，所述传动架上设置有承载台，所述承载台的底部安装有支撑杆，所述支撑杆与螺纹套安装连接，所述支撑杆上安装有滑块，所述传动架的上板面上设置有滑槽，所述滑块安装在滑槽内。所述机台上安装有作业电机，所述传动螺杆安装在作业电机的驱动端。本申请将电连接检测与硬度检测整合在同一作业工位上，达到整合工位，节约作业工站的效果。

基本信息

专利标题：

一种硅片质量测试设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920582700.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-25

授权号：

CN210109256U

授权日：

2020-02-21

发明人：

石坚朱棣李杰于友刘世伟

申请人：

山东九思新材料科技有限责任公司

申请人地址：

山东省济宁市泗水县泗河街道泉济路23号

代理机构：

济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

钟文强

优先权：

CN201920582700.4

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01N3/40 H01L21/66