本实用新型系提供一种用于半导体器件的多位吸尘装置，包括支架，支架上固定有吸尘支撑板和电机支撑板，吸尘支撑板上固定有吸尘管，吸尘管的一端设有吸尘通孔；电机支撑板上连接有通气板，通气板上固定有导气摩擦座，通气板上设有负压导气通道，导气摩擦座上设有导气圆环槽，导气圆环槽的底部设有第一导气通孔；电机支撑板下固定有电机，电机的输出端固定连接有放料转台，放料转台的底面与导气摩擦座的顶面紧贴接触，放料转台上设有n个放料座，每个放料座的底部均设有一第二导气通孔。本实用新型能够快速对多个半导体器件的表面进行可靠的吸尘操作，此外，半导体器件在转动的过程中，两侧的气压差一直存在，不易发生掉落。