一种用于碳化硅外延的气体分流装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型主要应用于半导件外延生长设备，具体涉及一种用于碳化硅外延的气体分流装置。包括分流腔室；分流腔室前端设有分流板与分流罩，分流腔室分流板上设有若干横向的通孔；分流罩内部中空并设有两个横向的隔板，将罩体按1：3：1体积比隔开；分流腔室内在相应位置也设有两块隔板，将分流腔室分为三部分，各个部分后端各设有一根金属波纹卡套管；分流腔室外部设有锁紧装置。本实用新型结构简单，设计合理，实现难度不大，维护方便。

基本信息

专利标题：

一种用于碳化硅外延的气体分流装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920617251.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-30

授权号：

CN209941142U

授权日：

2020-01-14

发明人：

沈文杰傅林坚周建灿邵鹏飞汤承伟周航潘礼钱

申请人：

杭州弘晟智能科技有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号1幢1楼A区03

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司

代理人：

周世骏

优先权：

CN201920617251.2

主分类号：

C30B25/14

IPC分类号：

C30B25/14 C30B29/36

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C30

晶体生长

C30B

单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置

C30B25/00

反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长

C30B25/02

外延层生长

C30B25/14

气体供给或排出用的装置；反应气流的变换

法律状态

2021-11-19 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C30B 25/14
登记生效日 : 20211105
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 杭州弘晟智能科技有限公司
变更后权利人 : 浙江求是半导体设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 311100 浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号1幢1楼A区03
变更后权利人 : 311100 浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号2幢3层
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 浙江晶盛机电股份有限公司

2020-01-14 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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