本实用新型涉及一种真空胶键合机，其包括能抽真空的真空腔体，在所述真空腔体的顶部设置可开关的腔盖板，在所述真空腔体内设置焊接波纹管，在所述焊接波纹管的外侧设置波纹管导向柱，在焊接波纹上方设置波纹管转接板，在所述波纹管转接板上设置能将待键合的两衬底保持对准的夹具体组件，在所述夹具体组件内设置用于对衬底进行支撑的下压头，所述下压头通过下隔热板支撑于波纹管转接板上，在所述下压头的正上方设置安装于腔盖板上的上压头，所述腔盖板压盖在真空腔体上时，上压头位于真空腔体内。本实用新型能满足胶键合过程中的小压力与高压力均匀性的需求，使用方便，安全可靠。