一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统，用于呈一定间距分布的面发射光电芯片阵列的光电性能检测，包括转移驱动装置、转移头、衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台、光学探测器，所述衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台依次排列于所述转移驱动装置的同一侧，所述转移头固定安装于转移驱动装置的移动执行端，并在衬底放置台和芯片放置台之间的上方往返移动，所述光学探测器位于检测电路基板的正下方。本实用新型可实现微型面发射光电芯片组在巨量转移过程中同时实现光电性能的巨量同步检测，检测效率高，适用于微型面发射光电芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光电性能巨量检测。
基本信息
专利标题 ：
一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920865407.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-10
授权号 ：
CN210040133U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
张家尧朱干军徐竞陈雄群
申请人 ：
义乌臻格科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路219号
代理机构 ：
合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李璐
优先权 ：
CN201920865407.9
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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