基板抓取机械手及自动光学检测设备

授权

摘要

本实用新型涉及一种基板抓取机械手及自动光学检测设备。该基板抓取机械手，包括：机械臂主体；基板抓取板，设于所述机械臂主体端部；及吸附机构，设于所述基板抓取板上；其中，所述吸附机构包括设于所述基板抓取板四周的第一基板吸附组件，设于所述基板抓取板中心位置处的第二基板吸附组件，以及连接于所述机械臂主体上的抽真空结构，所述抽真空结构与所述第一基板吸附组件和所述第二基板吸附组件连接。本实用新型提供的技术方案，在抓取和移动大尺寸基板时，可使其始终保持水平状态，保证了产品质量和设备的工作效率。

基本信息

专利标题：

基板抓取机械手及自动光学检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920872640.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-11

授权号：

CN210616572U

授权日：

2020-05-26

发明人：

李启磊

申请人：

惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋，九州阳光1号厂房5、7楼

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所

代理人：

胡海国

优先权：

CN201920872640.X

主分类号：

B25J15/06

IPC分类号：

B25J15/06 B25J15/08 G02F1/13