一种半导体刻蚀设备腔室的清洗机构，涉及半导体刻蚀设备清洗技术领域，该半导体刻蚀设备腔室的清洗机构，包括电机，所述电机输出轴固定连接有连接器，所述连接器远离电机的一端固定安装有丝杆，所述丝杆的表面套接有滑块，所述滑块的底端固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的底端固定连接有清洁刷，所述丝杆远离电机的一端套接有固定支座，该半导体刻蚀设备腔室的清洗机构，一方面，通过压力泵能够使刻蚀腔室内的气体排出，通过排气口和排气管能够有效的使刻蚀腔室内部与外部形成压力差，提高了刻蚀腔室内气体排出的效率，另一方面，通过吹风机提高了刻蚀腔室内部排气的强度，使刻蚀腔室内部的碎屑更容易被清理出去。